渕上ミクロはクロムマスクからエマルジョンマスクまで、それぞれの用途に適した高精度な製品を最新の露光装置と検査装置を駆使して短納期でお届けしています。
フォトマスク精度一覧
高精度フォトプロッタ
高精度クロム直描機
ビーム径
4μm
2.5μm
走査ピッチ
2μm/1μm
0.25μm
位置検出
レーザー干渉
線幅精度
±3μm
≦0.8μm(3σ)
ピッチ精度
≦2μm(3σ)
最小線幅
10μm(15μm)
≦6μm
描画サイズ(mm)
610 x 819
800 x 800
感 材
リス/ハイレゾ
エマルジョン/クロム
描画速度
610 x 819 210 min
800 x 800 エマルジョン = 213 min クロム = 639 min
測長機
自動外観検査機
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