エマルジョンマスク描画装置仕様 |
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描画装置 |
旭光学ＬＰＰ |
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Model |
LPP3698(2S) |
LPP3696(SLPP) |
LPP3800(LPP) |
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ガラス素材 |
ソーダライム |
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線幅精度 |
± 2.0μ |
± 3.0μ |
± 5.0μ |
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ピッチ精度 |
± 2.5μ |
± 5μ |
± 10μ |
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マスクサイズ |
610 x 813 |
610 x 813 |
711 x 813 |
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描画エリア |
580 x 780 |
580 x 780 |
700 x 750 |
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ビーム径 |
3μ |
4μ |
10μ |
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走査ピッチ |
0.5μ/1μ |
1μ/2μ |
2.5μ/5μ |
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最小線幅 |
5μ |
10μ |
20μ/40μ |
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適応用途 |
LCD |
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