描画装置

マイクロニックＬＲＳ８００

Model

Level 30

Level 20

ガラス素材

ソーダライム、合成石英（低膨張）

線幅精度

±1.0μ

±1.5μ

ピッチ精度

±1.5μ

±3μ

最大マスクサイズ

830 x 830

830 x 830

最大描画エリア

783 x 783

783 x 783

ビーム径

1.5μ

3μ

走査ピッチ

0.1μ

0.25μ

最小線幅

3μ

6μ

適応用途

カラー、モノクロSTNパターン
カラーフィルターパターン
CSPパターン
BGAパターン　他。